发明名称 |
Method of forming contacts to source and drains regions. |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0609014(A3) |
申请公布日期 |
1995.01.04 |
申请号 |
EP19940300406 |
申请日期 |
1994.01.19 |
申请人 |
AT & T CORP |
发明人 |
LEE KUO-HUA;YU CHEN-HUA DOUGLAS |
分类号 |
H01L27/11;H01L21/285;H01L21/768;H01L21/8244;(IPC1-7):H01L21/28 |
主分类号 |
H01L27/11 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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