发明名称 Method of forming contacts to source and drains regions.
摘要
申请公布号 EP0609014(A3) 申请公布日期 1995.01.04
申请号 EP19940300406 申请日期 1994.01.19
申请人 AT & T CORP 发明人 LEE KUO-HUA;YU CHEN-HUA DOUGLAS
分类号 H01L27/11;H01L21/285;H01L21/768;H01L21/8244;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L27/11
代理机构 代理人
主权项
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