基板处理装置、基板处理装置之洗净终点侦测方法、及基板处理之终点侦测方法

摘要

本发明之基板处理装置包含：(1)处理容器：用以装载基板；(2)洗净用气体供给系统：将洗净用气体供给至该处理容器内以洗净该处理容器；(3)排气装置：对该处理容器进行排气、(4)动作状态侦测器：侦测该排气装置之动作状态；及(5)终点侦测器：依据该动作状态侦测器之侦测结果侦测洗净终点。