| 发明名称 |
Photolithographic process for manufacturing calibration strctures |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2257804(B) |
申请公布日期 |
1995.01.04 |
| 申请号 |
GB19920012413 |
申请日期 |
1992.06.11 |
| 申请人 |
* SGS-THOMSON MICROELECTRONICS S.R.L. |
发明人 |
PIER LUIGI * CROTTI |
| 分类号 |
H01L21/66;G03F7/00;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/00 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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