发明名称 Photoresist strippers containing reducing agents to reduce metal corrosion
摘要
申请公布号 IL111130(D0) 申请公布日期 1994.12.29
申请号 IL19940111130 申请日期 1994.10.03
申请人 J.T. BAKER INC. 发明人
分类号 C23F11/12;C23F11/14;C23F11/16;G03F7/42;H01L21/027;(IPC1-7):G03C 主分类号 C23F11/12
代理机构 代理人
主权项
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