高精度大孔径移相式数字平面干涉仪

摘要

本发明公开了一种高精度大孔径移相式数字平面干涉仪，它主要由立式菲索干涉仪、扩展装置、移相器及驱动源、控制源、图像采集系统和微机等组成。其优点是仪器的有效检测孔径为Φ245mm，准确度为λ/50(峰—谷值)，系统光学质量为λ/20，扩展孔径达到Φ500mm，准确度为λ/20。本仪器可自动校正移相器的非线性位移误差，并采用带阻尼板的液面作为校正仪器系统误差的基准平面，使仪器检测精度得到提高，特别适用于大口径光学平面玻璃的检测。

主权项

一种高精度大孔径移相式数字平面干涉仪，它主要包括菲索型干涉仪[1]，激光器[9]、图像采集系统[2]、移相器[3]及驱动源[4]、微机[6]及辅助设备[7]、[8]，移相器[3]位于菲索型干涉仪[1]中参考平面镜[13]的底部，并由驱动源[4]驱动托住参考平面镜[13]一起位移，图像采集系统[2]由CCD摄像机[10]、图像采集卡[11]和监视器[12]组成，其中CCD摄像机[10]的靶面与干涉仪[1]的出瞳面共轭，CCD摄像机[10]输出端与图像采集卡[11]相接，图像采集卡[11]插在微机[6]主机板槽中，受微机[6]控制，图像采集卡[11]还与监视器[12]相接；其特征是移相器[3]还由一个控制源[5]控制，控制源[5]的输入端与微机[6]相接，并由微机控制，输出端与驱动源[4]相接，同步触发口与图像采集卡[11]相接，菲索干涉仪为立式结构，校正仪器系统误差的基准平面为液面[14]，液面[14]内放有阻尼板；在干涉仪[1]中的参考平面镜[13]的下方，有一个多功能工作台[17]，它是由自平衡支撑台、旋转盘[18]，丝杆传动机构[19]和水平调节机构[20]组成，自平衡支撑台由台板[21]和三块三角板[22]组成，三角板[22]的三个角上都装有支撑钉[24]，三角板[22]底面中心有一个活动连接的销钉[25]，台板[21]沿三个圆周等分线钻有一排定位孔[23]，三角板[22]分别位于台板[21]的三个圆周等分线上，并通过销钉[25]和定位孔[23]与台板[21]活动连接；旋转盘[18]位于自平衡支撑台下方与之相连接，水平调节机构[20]由底板和千分螺杆组成，丝杠传动机构[19]固定在水平调节机构[20]的底板上，并位于旋转盘[18]的下面。