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发明名称 Apparatus for transporting substrates.
摘要
申请公布号 EP0476219(B1) 申请公布日期 1994.12.28
申请号 EP19910103903 申请日期 1991.03.14
申请人 LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 MAHLER, PETER;MICHAEL, KLAUS, DR.;GEGENWART, RAINER, DR.;SCHERER, MICHAEL, DR.
分类号 B65G49/07;C23C14/50;C23C14/56;H01L21/677;(IPC1-7):C23C14/50;C23C14/54 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
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