| 发明名称 |
PROCESS FOR PRODUCING THIN FILMS OF INORGANIC OXIDES OF CONTROLLED STOICHIOMETRY. |
| 摘要 |
L'invention se rapporte à un procédé de préparation in-situ de couches minces qui contiennent des oxydes volatils et relativement non volatils, et en particulier, de couches minces crystallines d'oxydes de supraconducteurs ou précurseurs.On utilise des sources séparées d'oxydes volatils et relativement non volatils durant le dépôt de la couche mince. |
| 申请公布号 |
EP0630422(A1) |
申请公布日期 |
1994.12.28 |
| 申请号 |
EP19930912066 |
申请日期 |
1993.03.10 |
| 申请人 |
E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY |
发明人 |
FACE, DEAN, WILLETT |
| 分类号 |
C01B13/14;C01G1/00;C01G15/00;C23C14/00;C23C14/08;C23C16/40;C30B29/22;H01B13/00;H01L39/24;(IPC1-7):C23C14/08 |
主分类号 |
C01B13/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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