发明名称 Straightness interferometer system.
摘要
申请公布号 EP0397289(B1) 申请公布日期 1994.12.28
申请号 EP19900201521 申请日期 1988.08.24
申请人 RENISHAW PLC 发明人 MCMURTRY, DAVID ROBERTS;CHANEY, RAYMOND JOHN
分类号 G01B9/02;G01B11/24;G01B11/30;G01D5/26;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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