发明名称 Method of generating discretization grid for finite-difference simulation.
摘要
申请公布号 EP0310069(B1) 申请公布日期 1994.12.28
申请号 EP19880116071 申请日期 1988.09.29
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 WADA, TETSUNORI;OOSAWA, SHINJI
分类号 G01R31/26;G06F17/50;H01L21/66;(IPC1-7):G06F15/60;G06F15/62 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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