| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR THE RAPID DEPOSITION BY CHEMICAL VAPOR DEPOSITION WITH LOW VAPOR PRESSURE REACTANTS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0454843(A4) |
申请公布日期 |
1994.12.28 |
| 申请号 |
EP19910902240 |
申请日期 |
1990.11.20 |
| 申请人 |
GEORGIA TECH RES INST |
发明人 |
LACKEY WALTER JACKSON;CARTE WILLIAM BRENT;HANIGOFSKY JOHN A;HILL DAVID N;BAREFIELD E KENT |
| 分类号 |
C23C16/30;B05D7/24;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/448;H01L39/24;(IPC1-7):B05D5/12;C23C16/00 |
主分类号 |
C23C16/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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