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发明名称 VOLATILE LIQUID PRECURSORS FOR THE CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF COPPER
摘要
申请公布号 KR940011709(B1) 申请公布日期 1994.12.23
申请号 KR19920001673 申请日期 1992.02.01
申请人 AIR PRODUCTS & CHEMICALS INC. 发明人 NORMAN, JOHN A. T.;MURATORE, BETH A.
分类号 C07F7/02;C07F7/08;C23C16/18;(IPC1-7):C23C16/00 主分类号 C07F7/02
代理机构 代理人
主权项
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