发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06350043(A) 申请公布日期 1994.12.22
申请号 JP19930133628 申请日期 1993.06.03
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 MARUO YUTAKA
分类号 H01L21/8238;H01L27/092;(IPC1-7):H01L27/092 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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