ETCHING SOLUTION AND ETCHING METHOD,申请号JP19930135845-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	ETCHING SOLUTION AND ETCHING METHOD
摘要
申请公布号	JPH06349807(A)	申请公布日期	1994.12.22
申请号	JP19930135845	申请日期	1993.06.07
申请人	NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT>	发明人	NISHIDA TOSHIO;TAMAMURA TOSHIAKI;HIRONO TAKUO
分类号	H01L21/306;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/308	主分类号	H01L21/306
代理机构		代理人
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