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发明名称 Verfahren zur Herstellung von Feldeffekt-Transistoren
摘要
申请公布号 DE4233766(C2) 申请公布日期 1994.12.22
申请号 DE19924233766 申请日期 1992.10.07
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG EV, 80636 MUENCHEN, DE 发明人 HUELSMANN, AXEL, DIPL.-ING., 79104 FREIBURG, DE
分类号 H01L21/265;H01L21/285;H01L21/335;H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/338;C30B25/02;C30B31/22 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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