发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH06349850(A) 申请公布日期 1994.12.22
申请号 JP19940068512 申请日期 1994.04.06
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 HIRAI TAKEHIRO;TANAKA MITSUO;HORI ATSUSHI;SHIMOMURA HIROSHI
分类号 H01L27/06;H01L21/331;H01L21/8249;H01L29/73;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L27/06
代理机构 代理人
主权项
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