发明名称 PATTERNING METHOD
摘要
申请公布号 JPH06349737(A) 申请公布日期 1994.12.22
申请号 JP19930134300 申请日期 1993.06.04
申请人 NEC CORP 发明人 NISHIYAMA IWAO
分类号 H01L21/205;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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