发明名称 THIN-FILM TRANSISTOR AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH06349856(A) 申请公布日期 1994.12.22
申请号 JP19940071269 申请日期 1994.03.17
申请人 GOLD STAR ELECTRON CO LTD 发明人 HON SOKU KIMU
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/423;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/336;H01L29/784 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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