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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06350080(A) 申请公布日期 1994.12.22
申请号 JP19930136287 申请日期 1993.06.08
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KIMURA MASAMI;NAKAMURA MAKOTO
分类号 H01L21/28;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/784 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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