| 申请人 |
DAS-DUENNSCHICHT ANLAGEN SYSTEME GMBH DRESDEN, 01069 DRESDEN, DE |
发明人 |
REICHARDT, HORST, DR., 01257 DRESDEN, DE;RITTER, LOTHAR, DIPL.-ING., 01109 DRESDEN, DE;LABS, LUTZ, DIPL.-PHYS., 01324 DRESDEN, DE;GEHMLICH, KONRAD, DIPL.-PHYS., 01099 DRESDEN, DE;HENTRICH, MICHAEL, DIPL.-ING., 01109 DRESDEN, DE;FIRKERT, GUENTER, DIPL.-ING., 01159 DRESDEN, DE;HENNIG, VOLKMAR, DIPL.-OEK., 01157 DRESDEN, DE;SCHUBERT, MATTHIAS, DIPL.-ING., 01109 DRESDEN, DE |
