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发明名称
Verfahren zur Herstellung eines Silicium-auf-Isolator-Bauelementes unter Verwendung einer verbesserten Verkapselungsschicht.
摘要
申请公布号
DE68915523(T2)
申请公布日期
1994.12.22
申请号
DE1989615523T
申请日期
1989.12.21
申请人
N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN, EINDHOVEN, NL
发明人
BAUMGART, HELMUT, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL;MARTINEZ, ANDRE, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL
分类号
H01L21/02;H01L21/20;H01L21/263;H01L21/84;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/20
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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