发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Silicium-auf-Isolator-Bauelementes unter Verwendung einer verbesserten Verkapselungsschicht.
摘要
申请公布号 DE68915523(T2) 申请公布日期 1994.12.22
申请号 DE1989615523T 申请日期 1989.12.21
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN, EINDHOVEN, NL 发明人 BAUMGART, HELMUT, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL;MARTINEZ, ANDRE, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL
分类号 H01L21/02;H01L21/20;H01L21/263;H01L21/84;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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