| 发明名称 |
ELECTRIC CHARGE MEASURING METHOD OF SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06349920(A) |
申请公布日期 |
1994.12.22 |
| 申请号 |
JP19930164144 |
申请日期 |
1993.06.08 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
HIRAE SADAO;KONO MOTOHIRO;MATSUBARA HIDEAKI |
| 分类号 |
G01Q60/12;G01R29/24;G01R31/265;G01R31/312;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01Q60/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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