| 发明名称 |
FORMATION OF COPPER WIRING PATTERN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06349832(A) |
申请公布日期 |
1994.12.22 |
| 申请号 |
JP19930137569 |
申请日期 |
1993.06.08 |
| 申请人 |
KAWASAKI STEEL CORP |
发明人 |
TOKUNAGA KYOJI;NAKANO TADASHI |
| 分类号 |
C23F1/00;H01L21/308;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 |
主分类号 |
C23F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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