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发明名称 FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH06349747(A) 申请公布日期 1994.12.22
申请号 JP19930156045 申请日期 1993.06.02
申请人 HITACHI ELECTRON ENG CO LTD 发明人 OYAMA KATSUMI
分类号 C23C16/40;C23C16/50;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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