| 发明名称 |
FINGER COLLISION DETECTOR OF WAFER TRANSFER ROBOT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06349930(A) |
申请公布日期 |
1994.12.22 |
| 申请号 |
JP19930164999 |
申请日期 |
1993.06.11 |
| 申请人 |
SHINKO ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
KONO HITOSHI;OKUNO ATSUSHI;NAGASHIMA HIROSHI |
| 分类号 |
B25J17/02;B25J19/06;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
B25J17/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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