用于承载基材之装置与方法

摘要

本发明提供一种用于承载电浆处理用的至少一基材之装置与方法。该方法与装置包含一载具，用于将一个被以未黏接方式放置于载具上的基材搬运至一个电浆处理用的电浆系统内之基材支架上。一被连接到此基材支架的静电夹钳在电浆处理期间透过此载具以静电方式将基材固定于基材支架。