发明名称 PARTICLE INSPECTING DEVICE AND INSPECTING METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH06347415(A) 申请公布日期 1994.12.22
申请号 JP19930139734 申请日期 1993.06.11
申请人 NEC CORP 发明人 INAI MAKOTO
分类号 H01L21/66;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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