| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06350085(A) |
申请公布日期 |
1994.12.22 |
| 申请号 |
JP19930134315 |
申请日期 |
1993.06.04 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
HISAMOTO MASARU;SHIGENIWA MASAHIRO;KUSUKAWA KIKUO;KOBAYASHI NOBUYOSHI;NAKAMURA YOSHITAKA;UMEDA KAZUNORI;KATAYAMA KOZO;NAGAI AKIRA |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/336;(IPC1-7):H01L29/784 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
