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发明名称 PROBE CARD
摘要
申请公布号 JPH06349904(A) 申请公布日期 1994.12.22
申请号 JP19930133625 申请日期 1993.06.03
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 OKANDA MASAO
分类号 G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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