| 发明名称 |
CONVEYING TABLE OF TIP PARTS AND APPARATUS AND METHOD USING THE TABLE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06347506(A) |
申请公布日期 |
1994.12.22 |
| 申请号 |
JP19930163992 |
申请日期 |
1993.06.07 |
| 申请人 |
ROHM CO LTD |
发明人 |
KAJIKAWA KOJI;KAMIMURA SHINOBU |
| 分类号 |
B07C5/06;G01R31/18;H01L21/66;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):G01R31/18 |
主分类号 |
B07C5/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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