发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06349948(A) 申请公布日期 1994.12.22
申请号 JP19930140304 申请日期 1993.06.11
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KOBAYASHI MUTSUO;MATSUMURA MASASHI;YAMAUCHI CHIKAKO
分类号 H01L21/82;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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