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发明名称
END-POINT DETECTOR OF DRY ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH06349780(A)
申请公布日期
1994.12.22
申请号
JP19930133739
申请日期
1993.06.04
申请人
NEC YAMAGATA LTD
发明人
MATSUURA KAZUNORI
分类号
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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