| 发明名称 |
EVALUATION METHOD FOR ORGANIC COMPOUND STUCK ON SURFACE OF WAFER AN ITS DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06347445(A) |
申请公布日期 |
1994.12.22 |
| 申请号 |
JP19930157932 |
申请日期 |
1993.06.03 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP;MITSUBISHI MATERIALS SHILICON CORP |
发明人 |
OKADA CHIZUKO |
| 分类号 |
G01N21/33;G01N27/62;G01N27/64;H01J49/10;(IPC1-7):G01N27/62 |
主分类号 |
G01N21/33 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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