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发明名称
摘要
申请公布号
JPH06105696(B2)
申请公布日期
1994.12.21
申请号
JP19880317356
申请日期
1988.12.15
申请人
发明人
分类号
H01L21/225;H01L21/223;H01L21/74;(IPC1-7):H01L21/225
主分类号
H01L21/225
代理机构
代理人
主权项
地址
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