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发明名称
摘要
申请公布号 JPH06105779(B2) 申请公布日期 1994.12.21
申请号 JP19830030792 申请日期 1983.02.28
申请人 发明人
分类号 C30B23/08;C23C14/00;C30B25/06;C30B29/38;H01L21/20;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/314;H01L23/36;H01L23/373;H01L27/00;H01L27/12;(IPC1-7):H01L27/12 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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