| 发明名称 |
METHOD FOR IMPROVING COATING RATE, METHOD FOR DECREASING DUST DENSITY IN PLASMA DISCHARGE SPACE AND PLASMA CHAMBER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06346245(A) |
申请公布日期 |
1994.12.20 |
| 申请号 |
JP19940094375 |
申请日期 |
1994.05.06 |
| 申请人 |
BALZERS AG |
发明人 |
JIYATSUKU SHIYUMITSUTO;POORUURUNE MIYURAARU |
| 分类号 |
C23C14/54;B65G49/07;C23C16/44;C23C16/50;C23C16/52;C23C16/54;C23F4/00;H01L21/205;H05H1/46;(IPC1-7):C23C16/50 |
主分类号 |
C23C14/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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