VAPORIZER,申请号JP19930170804-传众专利搜索

发明名称	VAPORIZER
摘要
申请公布号	JPH06346243(A)	申请公布日期	1994.12.20
申请号	JP19930170804	申请日期	1993.06.03
申请人	KOJUNDO CHEM LAB CO LTD	发明人	HOCHIDO YUKO
分类号	C23C16/44;C23C16/448;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/44	主分类号	C23C16/44
代理机构		代理人
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