发明名称 PRODUCTION OF ALLOY THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH06346276(A) 申请公布日期 1994.12.20
申请号 JP19930140290 申请日期 1993.06.11
申请人 TOTOKU ELECTRIC CO LTD 发明人 YOSHIMURA SHUNICHI;KITAZAWA HIROSHI
分类号 C23C10/28;C25D3/12;C25D3/20;C25D5/10;C25D5/50;(IPC1-7):C25D5/10 主分类号 C23C10/28
代理机构 代理人
主权项
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