发明名称 |
PRODUCTION OF ALLOY THIN FILM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06346276(A) |
申请公布日期 |
1994.12.20 |
申请号 |
JP19930140290 |
申请日期 |
1993.06.11 |
申请人 |
TOTOKU ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
YOSHIMURA SHUNICHI;KITAZAWA HIROSHI |
分类号 |
C23C10/28;C25D3/12;C25D3/20;C25D5/10;C25D5/50;(IPC1-7):C25D5/10 |
主分类号 |
C23C10/28 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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