发明名称 VACUUM COATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06346235(A) 申请公布日期 1994.12.20
申请号 JP19940078691 申请日期 1994.04.18
申请人 LEYBOLD AG 发明人 GIYUNTAA BUROIAA;URURITSUHI PATSUTSU;MIHIYAERU SHIEERAA;YOAHIMU SUTSUIRUBOFUSUKII
分类号 C23C14/34;C23C14/04;C23C14/22;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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