APARATO PARA EL RECUBRIMIENTO DE SUSTRATOS MEDIANTE PULVERIZACION CATODICA.

摘要

LA INVENCION SE REFIERE A UN APARATO PARA RECUBRIR SUSTRATOS POR PULVERIZACION CATODICA, Y SE CARACTERIZA PORQUE: EL ANODO SE CONFORMA DE MODO PARTICULAR; LA SUPERFICIE ACTIVA DEL ANODO SE DELIMITA CON AYUDA DE UN DIAFRAGMA QUE CONDUCE METALICAMENTE AL SUSTRATO Y SE UNE CON EL INTERIOR DE LA CAMARA Y PRESENTA UN POTENCIAL DETERMINADO; Y LA SUPERFICIE EFECTIVA DEL ANODO SE COORDINA CON EL RENDIMIENTO DEL CATODO, PARA PRODUCIR UNA ELEVADA Y OPTIMA CONCENTRACION DE IONES DENTRO DE LA CAMARA QUE DA LUGAR A UNA BUENA ADHERENCIA DEL RECUBRIMIENTO EN TODAS LAS ZONAS QUE SE RECUBREN PRIMERAMENTE A TRAVES DE UN MOVIMIENTO DEL CATODO O DEL SUSTRATO EN UN TIEMPO RETARDADO.