Verfahren für die chemische Dampfabscheidung.,申请号DE19883851195T-传众专利搜索

发明名称	Verfahren für die chemische Dampfabscheidung.
摘要
申请公布号	DE3851195(T2)	申请公布日期	1994.12.15
申请号	DE19883851195T	申请日期	1988.10.06
申请人	FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP	发明人	KIMURA, TAKAFUMI, HIRATSUKA-SHI KANAGAWA 254, US;YAMAWAKI, HIDEKI, ISEHARA-SHI KANAGAWA 259-11, JP;IKEDA, KAZUTO, ATSUGI-SHI KANAGAWA 243, JP;IHARA, MASARU, CHIGASAKI-SHI KANAGAWA 253, JP
分类号	C01G1/00;C01G3/00;C04B41/87;C23C16/40;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24	主分类号	C01G1/00
代理机构		代理人
主权项
地址