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发明名称 Elektrodenscheibe für Plasma-Ätzvorrichtung.
摘要
申请公布号 DE69011794(T2) 申请公布日期 1994.12.15
申请号 DE19906011794T 申请日期 1990.09.28
申请人 TOKAI CARBON CO. LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 ITOH, HAJIME, CHIGASAKI-SHI, KANAGAWA-KEN, JP
分类号 H01L21/302;C01B31/02;H01J9/14;H01J37/32;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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