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发明名称
摘要
申请公布号
JPH06101421(B2)
申请公布日期
1994.12.12
申请号
JP19860072267
申请日期
1986.03.28
申请人
发明人
分类号
H01L21/30;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
H01L21/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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