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发明名称
摘要
申请公布号	JPH06100657(B2)	申请公布日期	1994.12.12
申请号	JP19860272742	申请日期	1986.11.15
申请人		发明人
分类号	G01T1/185;G01T1/18;H01J47/02;(IPC1-7):G01T1/185	主分类号	G01T1/185
代理机构		代理人
主权项
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