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发明名称 (A) ;AGENT FOR REMOVING METAL-CONTAINING CONTAMINANT FROM SURFACE OF SUBSTRATE AND METHOD FOR CLEANING THE SAME
摘要
申请公布号 JPH06101076(B2) 申请公布日期 1994.12.12
申请号 JP19900293386 申请日期 1990.10.30
申请人 发明人
分类号 G01G23/42;G07G1/12;(IPC1-7):G07G1/12 主分类号 G01G23/42
代理机构 代理人
主权项
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