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发明名称
摘要
申请公布号 JPH06101466(B2) 申请公布日期 1994.12.12
申请号 JP19830213177 申请日期 1983.11.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/316;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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