Procédé et dispositif de contrôle de la conformité de billes d'hybridation.

摘要

L'invention concerne un procédé de contrôle de la conformité de billes d'hybridation (9) présentes sur une puce ou un substrat (1) et son dispositif de mise en œuvre. Le procédé consiste en les étapes suivantes:
a) Positionnement (210) des billes d'hybridation de la puce ou du substrat contre une lame transparente à une longueur d'onde lambda;
b) Ecrasement partiel (220) desdites billes d'hybridation sur la lame transparente, cet écrasement créant des méplats de billes sur la lame;
c) Eclairage des billes par un faisceau lumineux de longueur d'onde lambda à travers la lame transparente;
d) Acquisition (320-330) du signal réfléchi par les billes d'hybridation à contrôler;
e) Détermination (340) de la conformité ou de la non-conformité respective des billes d'hybridation à contrôler en fonction du signal réfléchi par chacune d'elles.
Application en micro-électronique.