MICROVALVE

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Mikroventil, das vor allem als Pilotventil in pneumatischen Steuerungen einsetzbar ist. Die bisher in diesem Bereich eingesetzten Hubmagentventile lassen sich nur unter erheblicher Kostensteigerung miniaturisieren. Das erfindungsgemässe Mikroventil besteht aus einem ersten druckseitigen Teil (1) mit einer Membranstruktur (3) als beweglichen Schliesskörper und einem zweiten Teil (2) mit Auslassöffnung (7) und Ventilsitz (5). Die Membranstruktur ist mit Heizelementen versehen und auf einer Seite mit einem Material mit unterschiedlichem thermischen Längenausdehnungskoeffizienten so beschichtet, dass bei Erwärmung ein Durchbiegen der Membran gegen den anliegenden Druck resultiert. Zumindest eines der beiden Teile weist Gruben definierter Tiefe (6) auf, die so angeordnet sind, dass sich bei geschlossenem Ventil Hohlräume bilden, die von den Heizelementen aufgeheizt werden. Das angegebene Mikroventil ist kostengünstig mit Mitteln der Halbleitertechnologie herstellbar und zeigt aufgrund seiner kombinierten thermomechanisch-thermopneumatischen Wirkungsweise verbesserte Schalteigenschaften.