| 发明名称 |
Verfahren zur Abscheidung von Palladiumschichten |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE4415211(A1) |
申请公布日期 |
1994.12.08 |
| 申请号 |
DE19944415211 |
申请日期 |
1994.04.26 |
| 申请人 |
ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH, 10553 BERLIN, DE |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C18/30;C23C18/34;C23C18/42;C23C18/44;H05K3/24;(IPC1-7):C23C18/44;H01L21/320 |
主分类号 |
C23C18/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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