传送及导正基板的装置及方法

摘要

一种传送装置，包括复数个滚轴以及导正组件。复数个滚轴构成一承载平面，复数个滚轴滚动用以传送基板。导正组件系介于数个滚轴其中两个滚轴之间，导正组件具有两倾斜部与该承载平面相交，该等倾斜部系相对并分别朝相反方向倾斜。前述两倾斜部各具有高于该承载平面的第一端以及低于该承载平面的第二端，其中第一倾斜部之第一端与第二倾斜部之第一端之间的距离大于第一倾斜部之第二端与第二倾斜部之第二端之间的距离。