常温接合装置及常温接合方法

摘要

本发明之常温接合装置包括排气装置、气体供给装置、压力计、净化装置、压力控制器以及压接机构。该排气装置自腔室内部排出气体。该气体供给装置将导入气体供给至该腔室内部。该压力计测定该腔室内部之压力。该净化装置于该测定出之压力处于特定真空度时，于该腔室内部净化第1基板及第2基板。该压力控制器控制该排气装置及该气体供给装置两方，以便该测定出之压力与目标压力一致。该压接机构于该测定出之压力为该目标压力时，于该腔室内部压接该第1基板与第2基板。